光栅尺是由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。标尺光栅一般固定在机床活动部件上,光栅读数头装在机
床固定部件上,指示光栅装在光栅读数头中。光栅检测装置结构光栅检测装置的关键部分是光栅读数头,它由
光源、会聚透镜、指示光栅、光电元件及调整机构等组成。
光栅尺的工作原理
莫尔条纹以透射光栅为例,当指示光栅上的线纹和标尺光栅上的线纹之间形成一个小角度θ,并且两个光栅
尺刻面相对平行放置时,在光源的照射下,位于几乎垂直的栅纹上,形成明暗相间的条纹。这种条纹称为“莫尔
条纹” 。
严格地说,莫尔条纹排列的方向是与两片光栅线纹夹角的平分线相垂直。莫尔条纹中两条亮纹或两条暗纹
之间的距离称为莫尔条纹的宽度,以W表示。
W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ
莫尔条纹具有以下特征:
(1)莫尔条纹的变化规律两片光栅相对移过一个栅距,莫尔条纹移过一个条纹距离。由于光的衍射与干涉
作用,莫尔条纹的变化规律近似正(余)弦函数,变化周期数与光栅相对位移的栅距数同步。
(2)放大作用在两光栅栅线夹角较小的情况下,莫尔条纹宽度W和光栅栅距ω、栅线角θ之间有下列关
系。式中,θ的单位为rad,W的单位为mm。由于倾角很小,sinθ很小,则W=ω /θ若ω =0.01mm,
θ=0.01rad,则上式可得W=1,即光栅放大了100倍。
(3)均化误差作用莫尔条纹是由若干光栅条纹共用形成,例如每毫米100线的光栅,10mm宽度的莫尔条
纹就有1000条线纹,这样栅距之间的相邻误差就被平均化了,消除了由于栅距不均匀、断裂等造成的误差。