传统弹性应变传感器
此种传感器的特点是测量范围宽、精度高、稳定性好,且使用寿命长能够抵御高温、高速、高压和振动的影响,因此在汽车的检测环境中较为适应。应变式传感器通常是由四个电桥电阻组成,相对的一组桥臂电阻在受到压力是产生拉力变化,而另一种产生的是压力变化,以此产生对电阻的影响,其信号的大小相等而符号相反,提高了传感器的灵敏度。此种传感器的输出信号幅值变化小,在温度环境变化剧烈的情况下,需要温度补偿,但是难度较大。
半导体压阻传感器
此种传感器所利用的是半导体的压阻效应。普通的半导体材料应变要优于金属材料的应变灵敏系数。利用单晶硅的压阻效应在单晶硅的基础上利用半导体工艺制成的元件,当半导体受到压力作用的时候,其电阻会发生变化,从而形成压力变化的信号输出。目前,普遍采用的压阻传感器都是4个等值应变元件来形成一个电桥,当压力作用变化的时候,分为两对产生变化效果,一对变大一对变小,导致电桥出现失衡,输入一个与压力成正比的电压信号。其最大的特点就是灵敏度高、测量范围大、输出信号强,容易实现集成。但是其抗油污和微粒影响的能力较差,必须利用介质对其进行隔离,才能达到准确的效果。
厚膜压力传感器
此种传感器是新型的力敏性传感器。其利用的是厚膜电阻的压阻效应所研制而成的,其应变电阻是具有压阻效应的厚膜钌酸盐电阻,采用厚膜工艺技术直接印刷和烧结在陶瓷弹性体上。经过高温烧制,应变电阻和陶瓷体牢固的结合起来,不需要进行粘贴。此种形式避免了常用的应力式力敏传感器因粘贴工艺而容易产生老化的弊端。厚膜应变电阻性能稳定、耐高温、温度系数比扩散硅小一个量级以上。
陶瓷压阻传感器
此种传感器采用的是陶瓷材料经过特殊工艺制成的,干式陶瓷压力传感器。陶瓷是一种具有较高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗震动的优质材料。陶瓷的热稳定性要明显优于厚膜电阻传感器的工作范围,其温度范围可以达到-40℃~125℃,而且在高温下仍然具有较高的精度和稳定性。电气绝缘强度》2kV,输出信号强且具有长期的稳定性。工作的原理是:被测压力直接作用在陶瓷膜片表面上,使得陶瓷膜片产生变形,厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面,形成一个电桥,在压敏电阻的作用下,电桥就会产生一个与压力和电压相关的正比电信号;同时信号根据压力量程的差距进行划分,并和感应式传感器进行兼容。通过激光标定,传感器具有了温度稳定性和时间稳定性,传感器自带温度补偿,可以和绝大多数介质的接触并保证检测效果。但是其成本较高,推广还需要时间。