金属氧化膜电阻器就是以特种金属或合金作电阻材料，用真空蒸发或溅射的方法，在陶瓷或玻璃基本上形成氧化的电阻膜层的电阻器。英文名为 Metal oxide film resistor。
金属氧化膜电阻器也是膜式电阻器的一种，它是用锡和锑等金属盐榕液(如四氯化锡和三氯化锑盐溶液)，喷雾到炽热的陶瓷骨架表面水解沉积而形成的电阻器。金属氧化膜电阻器的导电膜均匀，膜与陶佳骨架基体结合得牢固，有些性能优于金属膜电阻器。
金属膜电阻器一般采用真空蒸发工艺制得，即在真空中加热合金，合金蒸发，使瓷棒表面形成一层导电金属膜。刻槽和改变金属膜厚度可以控制阻值。它的耐热性、噪声电势、温度系数、电压系数等电性能比碳膜电阻器优良。金属膜电阻器的制造工艺比较灵活，不仅可以调整它的材料成分和膜层厚度，也可通过刻槽调整阻值，因而可以制成性能良好，阻值范围较宽的电阻器。
金属氧化膜电阻器具有以下特点:
①温度系数比金属膜电阻大。
②额定功率范围大.为1/8W - 50kW 。
③有极好的脉冲、高频过负荷性，力学性能也较好。
④与金属膜电阻器相比，金属氧化膜电阻器有较好的抗氧化性和热稳定性。
⑤由于导电膜层较厚.阻值范围较小，在1Ω - 200kΩ 之间，主要用来补充金属膜电阻器低阻值电阻器的不足。
金属氧化膜电阻目前广泛应用于电力自动化控制设备，因为它的一些特性，可以很好的保证仪器长期在高温环境工作的安全性。
